Keil 5的安装过程十分简单，以下是详细的步骤指导：

首先，打开选定的Keil 5软件压缩包，通过右键选择“解压到Keil5”进行安装。

接下来，双击进入解压后的MDK511文件夹，进一步打开mdk511程序。

点击界面上的"Next"按钮，进入安装向导。

在下一步中，勾选"我接受"条款，然后继续点击"Next"。为了提高硬盘使用效率，建议选择安装路径时避开C盘，例如D盘或自定义的keil5文件夹。

接下来，你可以根据个人需求填写安装信息，然后点击"Next"进行安装。安装过程可能需要大约1分钟，耐心等待。

安装完成后，找到桌面上的Keil uVision5图标，双击启动它。然后，点击菜单栏的"File"，选择"License"选项。

在解压文件夹中找到keygen程序，以管理员身份运行。在keygen界面中，将CID中的内容复制到2处的相应位置，选择Target选项框中的ARM选项，点击"Generate"。接着，将生成的新许可证内容复制到6处的"New license"字段，点击"Add LIC"。

完成上述步骤后，记得点击"Close"。至此，Keil 5的安装过程全部完成，你可以开始使用它进行编程开发了。